➣简单介绍：

静电吸盘是用静电来吸住晶片等其他材料

➣工作原理对比：

静电吸盘是通过给内部加电压产生静电来吸住对方静电吸盘可以在真空环境下工作空气吸盘是通过空气原理吸住对反

➣半导体制造装置上吸盘是单极性的，工作环境要求在真空情况下！所以静电吸盘式半导体制造装置机器上不可缺少的重要部件